Auto Focus Sensor
자동광학검사기(AOI)의 자동초점(AF) 기능 구현을 위한 광학계-검사대상 간 거리 측정 센서

Specifications

Description 자동광학검사기(AOI)의 자동초점(AF) 기능 구현을 위한 광학계-검사대상 간 거리 측정 센서  
Partnumber EO-AFS-34 
Accuracy 1 µm 
Repeatability 1 µm 
Measurement rate 1 kHz 
Working range 34 ±1 
Light source VIS / NIR 적용 가능