상하면, 옆면을 동시에 보는 이미징 모듈?

카메라와 광학계 3개가 필요하던 상면+하면+측면 검사를 하나의 모듈로 해결하는 3면 광학계 솔루션으로 비용을 줄일 수 있습니다. 3면 광학계의 니즈는 시료를 자를 때 생기는 결함에 있습니다. 큰 원장 Wafer를 자르거나, 패턴이 새겨진 PCB를 자를 때 그 단면이 깨끗하지 않을 수 있습니다. 혹은 자른 단면에 해당하는 측면을 검사하는 것 또한 품질에 영향을 미칠 수 있습니다. 

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