이미징 모듈

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Model	Description	Partnumber
Wafer 3way scan Module	웨이퍼와 같은 불투명 기판 가장자리 여러면을 검사하기 위한 고속 라인 스캔용 이미징 모듈	EO-MVO-3W0310-CR175
MTF 개선 동축 조명	고배율 렌즈의 NA와 CRA를 고려한 설계로 렌즈 해상력 내에서 MTF 개선이 가능한 앤비젼 동축조명	EV-NCM-SP250 / EV-NCM-HR333-R2 / EV-NCM-XND333 / EV-NCM-XND500
2.5D 이미징 모듈	라인스캔 방식의 눌림(돌출/패임) 고속 검사 기기	EO-AINI-180

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