Bare wafer를 검사하는 이미징 모듈?

Bare wafer에서의 이물 검사는 아무것도 없어야하는 Wafer 위의 먼지나 입자들이 있는지 확인하는 일이죠. 1μm보다 큰 이물은 충분히 상상할 수 있지만 그 크기가 작아질수록 이물의 밝기와 시료의 밝기값이 섞여진 형태로 나오게 될 것이에요. 이렇게 작은 크기의 이물검사는 다크필드 조명으로 검사하죠. LED로 다크 필드를 조사할 때보다 더 강한 빛을 조사할 수 있는 레이저를 사용한다면 더 강력한 검출력을 가질 수 있습니다.

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