3D 검사란?

 

 

3D 측정 검사란, 2D이미지에서 [X,Y, Intensity]정보가 아닌 물체의 [X,Y,Z]정보를 측정하는 검사입니다. Z값을 통해서 검사하는 이물의 크기뿐만 아니라, 높이를 구할 수 있습니다. 볼의 높이를 측정하거나, Polishing한 후에 볼의 높이 값을 구해 제품의 불량을 사전에 검출 할 수 있습니다. 또한 디스플레이 같은 투명체의 각 Layer사이의 이물들의 크기(x,y) 높이(z)를 구하여 이물을 검사 할 수 있습니다.

 

 

3D 용어 정리

 

 

1) Slope: 높이를 구하는 3D카메라가 측정을 할 때 측정하는 제품이 기울어진 각도입니다. 특정 각도 이상으로 slope이 높으면 측정이 쉽지 않습니다.

2) Z-Resolution: Z방향(높이)으로의 해상도입니다. 높이를 측정하는데 구분가능한 최소의 범위입니다.

3) Measuring Range: 3D 장비가 물체의 높이를 측정하는데 측정 가능한 범위입니다. 범위 내의 높이 값을 가지고 있는 물체만 측정 가능합니다.

4) Accuracy: 실제 높이와 3D장비 측정 높이의 차이입니다. Accuracy가 낮을수록 오차가 낮습니다.

 

 

3가지 Trend (측정속도, 정밀도, 적용 가능성)

 

 

1) High Speed(측정 속도)

● Tact time을 맞추기 위해 측정 속도를 높이는 건 중요한 요소 중 하나입니다.

● Point방식의 측정에서 Line scan으로 점점 넓고 많은 수의 Pixel을 사용해서 FOV를 확보하고 있습니다.

● XY방향 움직임 외에도 높이 측정을 위해 Z방향으로도 움직이는 장비도 있는가 반면, Y방향으로만 스캔으로 [XYZ]정보는 얻음으로 빠른 측정속도를 가진 장비도 있습니다.

 

 

2) High Accuracy(정밀도)

 

● 이 정밀도가 mm단위에서 nm단위로 다양하게 변화하고 있으며, 측정하는 분야에 따라 요구되는 정밀도가 다릅니다.

● 고정된 연구실 환경에서 진동이 있는 In-Line 환경에서도 정밀도가 높은 장비의 수요가 늘어나고 있습니다.

 

 

3) Versatility

 

● 불투명체의 3D형상 측정부터 투명체의 내부 이물까지 다양한 3D 장비의 수요가 있습니다.

● 투명체의 내부 이물을 측정하면서 Multi-layer의 3D형상 까지 전부 측정하는 장비도 있습니다.

 

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