정밀 마이크로 검사 애플리케이션에 어울리는 mag.x System 125는 혁신적인 광학 설계와 정밀 공학을 결합하여 넓은 FOV(fields-of-view)에 걸쳐 뛰어난 해상도를 제공합니다. (최대 12.5mm Ø, 구성에 따라 달라짐)

이 완전히 새롭게 탄생한 마이크로 이미징 시스템의 우수한 광학 성능과 기능성으로부터 혜택을 받을 수 있는 많은 애플리케이션이 있습니다. 고해상도 광학과 대형 센서 최적화의 조합으로 많은 검사 작업을 신속하게 처리할 수 있고, 기존에는 처리할 수 없었던 애플리케이션을 처리할 수 있습니다.

이러한 애플리케이션은 다음과 같습니다.

 

● FPD(Flat-panel display) 검사

● 반도체 검사 및 프로세싱

● MEMS & 나노 기술

● PCB(Printed circuit board) 검사

● 대학 및 연구소 연구

● 기술 현미경

● 재료 과학

● 마이크로 측정 및 계측

● 바이오 메디컬 이미징

 

 

대형 센서를 위한 설계

Line scan 카메라의 높은 속도와 연속해서 움직이는 개체로 인해 확장된 개체 검사는 종종 Line scan 카메라를 사용하여 수행됩니다. Mag.x System 125는 최대 56mm의 image circle을 지원하기 때문에 8k TDI Line scan 카메라와 완벽하게 동작할 수 있습니다. 고해상도와 대형 Line scan 카메라의 센서와 결합한 Mag.x 125를 사용하면 사용자가 적은 패스로 더 넓은 관심영역을 스캔하여 검사 처리량을 상당히 증가시킬 수 있습니다.

 

개체 공간의 텔레센트릭 성질과 결합한 긴 동작 거리

커버 글래스없이 보정된 렌즈와 최대 24.8 mm의 긴 동작 거리로 인해 이 시스템은 보편적인 기술 검사 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 렌즈의 초점 거리는 125 mm입니다.

또한, 정확하 개체 공간 텔레센트릭 성질을 유지하여 개체 공간에서의 편차 또는 3차원 개체로 인한 측정 오류를 제거할 수 있습니다. 이미지 측의 텔레센트릭 성질로 정확한 측정 결과를 얻을 수 있고 마이크로 렌즈를 사용하는 이미지 센서의 밝기 변경을 방지할 수 있습니다.

 

색수차 보정

이 렌즈는 430?700nm의 스펙트럼에서의 색수차가 보정되어 제공됩니다. 전체 스펙트럼에 걸쳐 높은 콘트라스트가 유지되고 빛의 파장이 변경되더라도 다시 초점을 맞추지 않아도 됩니다. 추가적인 초점 조정없이 멀티 스펙트럼 이미징을 실행할 수 있습니다.

 

통합 조명

고해상도 검사는 최적으로 조정되는 조명 정의를 요구합니다. 이것이 바로 mag.x system125가 브라이트 필드 동축 조명을 위해 2개의 내장형 조명을 지원하는 이유입니다. 이 조명 시스템은 조리개를 조정할 수 있고 f 값을 조정할 수 있는 Koehler 원리에 따라 동작합니다. 따라서 이미지의 조명과 간섭 매개변수들은 개별 검사 작업에 따라 적절하게 조정할 수 있습니다. (이미징 조리개 및 조명의 관계) 다크 필드 조명을 위해 액세서리로 어댑터를 사용할 수 있습니다.

 

자동 초점(Autofocus)

고해상도 시스템은 항상 작은 DOF(depth of field)를 갖추고 있습니다. 자동 초점(Autofocus) 시스템으로 완벽하게 평면이 아닌 개체의 고해상도 검사를 할 수 있습니다. 옵션인 Piezo 장치는 초점을 위한 능동 구성 부품(active part)입니다. TTL AF를 사용할 수 있는 AF 기본 장치 또는 개체 위치를 감지하는 기타 솔루션 중 하나와 결합할 수 있습니다. AF 기본 장치는 다양한 AF 센서와 호환할 수 있는 범용 포트를 제공합니다.

 

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