- Glass 3way scan Module
- 글라스와 같은 투명 기판 가장자리(측면, 상/하 챔버)를 검사하기 위한 고속 라인 스캔용 이미징 모듈
주요 특징
1) 라인스캔 방식의 고속 검사 기기
2) 3mm 이상의 넓은 상/하면 이미지 제공
3) 3µm 광학 분해능과 높은 DOF의 TC렌즈 제공
4) 표준 제품 외 커스텀 개발 통한 다양한 두께 가능
웨이퍼 및 글라스 고속 엣지 검사의
완벽한 솔루션
웨이퍼나 글라스 엣지의 상/하/측면의 이미지를 고속으로 동시에 얻을 수 있기 때문에, 기존 육안 검사 대비 향상된 속도와 정확도로 웨이퍼 및 글라스 엣지 검사에 완벽한 이미징 솔루션을 제공합니다.
애플리케이션
웨이퍼 및 글라스 엣지의 상/하/측면의 Crack, Burr, Chipping 등의 결함 이미지를 한번에!
제품 상세
| FOV | 24mm (측면 : 8mm, 상/하 챔퍼 : 8mm) |
|---|---|
| System resolution | 2.5µm/pixel |
| Optical resolution | 3.9µm@F8 |
| 검사 가능 두께 | 1.0mm ~ 3.0mm |
| DOF | 59µm |
|
Dimension W x D x H |
482.0 x 140.5 x 211.6 |
주요 사양
| Description | 글라스와 같은 투명 기판 가장자리 여러면을 검사하기 위한 고속 라인 스캔용 이미징 모듈 |
|---|---|
| Partnumber | EO-MVO-3W0808-CR200 |