고속의 검사 환경에서 실시간으로 자동초점이 가능한
고속/고정밀 AutoFocus Sensor를 소개합니다.

앤비젼의 AutoFocus 센서는 고속 in-line AOI 어플리케이션에서 실시간 자동 구현할 수 있는 레이저 삼각법 기반의 비접촉 방식 센서입니다.
1 µm 정밀도와 최대 9kHz 센싱 속도를 통해 Tact Time 단축을 위한 고속 AOI (자동 광학 검사기) 환경에서도 광학계와 검사 대상체간 변위를 정밀하게 센싱이 가능합니다.

주요 특징

1) 비접촉 방식 레이저 변위 센서

2) 고속 스캔 및 센싱

3) 초간단 초기 셋팅: 제로셋, 오프셋 기능

4) Field-proven 센싱 알고리즘

5) 합리적인 customizing 비용

6) 다양한 타입의 시료에 적용 가능

애플리케이션

- FPD

- PCB

- Film

- Semiconductor(Wafer)

Specifications

Description	1 µm 정밀도 & 최대 9 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS
Partnumber	EO-AFS-5530-80PHA2/EO-AFS-4514-4226A2/EO-AFS-4520-8030A2/EO-AFS-4520-C021A2/EO-AFS-4582-90PHA2
Accuracy	± 1 µm
Precision	< 1 µm
Linearity(R²)	< 0.2% F.S
Data rate	3 ~ 9 kHz
Mesuring range	± 400 µm
Sensing type	외부 반사식 레이저 삼각법
Working distance	렌즈 배율에 따라 상이

Video

고속/고정밀 Autofocus Module: 고속의 검사 환경에서도 실시간으로 자동 초점이 가능한 앤비젼의 Autofocus Module을 소개합니다.

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고속의 검사 환경에서 실시간으로 자동초점이 가능한 고속/고정밀 AutoFocus Sensor를 소개합니다.