검사 대상체의 굴곡을 실시간으로 포커싱하는
고속/고정밀 AutoFocus Module을 소개합니다.

앤비젼의 AutoFocus Module은 이미징 광학계를 검사 대상체의 굴곡을 따라 Z축으로 실시간 제어하여 모든 영역에서 최적 포커스 영상을 구현하는 모듈입니다. 앤비젼의 Autofocus actuator가 적용된 이미징 모듈은 Tact time 단축을 위한 고속 AOI 환경에서도 검사체의 굴곡을 정밀하게 추종할 수 있습니다.

주요 특징

1) 고속/실시간 스캔을 위한 높은 정밀도와 빠른 응답성

2) 5.0x 배율 이하의 Macro 렌즈에 적용 가능

3) 5.0 배율 이하의 Microscopy 대물렌즈의 적용 가능

4) C++ 라이브러리 지원

5) SW 명령어와 외부 시그널을 통한 AF 컨트롤 지원

6) Zeroset, Offset 기능 지원

7) 1 pc에서 최대 30대까지 다축 제어 지원

8) 실시간 추종 데이터 모니터링

애플리케이션

- FPD

- PCB

- Film

- Semiconductor(Wafer)

모터형식	Step Motor
Focusing Range	26 / 40 mm (140 mm까지 확장 가능)
PC통신	Ethernet
경사 조건(µm/mm) *포커싱 성능	20 µm / 50 mm
샘플 속도(mm/s) *포커싱 성능	1200 / 800 / 600 / 400 / 173
최대 추종오차(µm) *포커싱 성능	6.0 / 4.0 / 3.0 / 2.5 / 1.5
해상도(µm/pixel)	3.0 / 2.0 / 1.5 / 1.0 / 0.58
DOF(µm)	20 / 15 / 10 / 5 / 3

*포커싱 성능 : 표면 패턴에 높이차 구조물이 없고 굴곡만 있는 샘플을 이용한 이상적인 환경에서 측정됨

Specifications

Description	검사 대상체의 굴곡을 실시간으로 포커싱이 가능한 고속/고정밀 AutoFocus Module
Partnumber	EO-AFA-260 / EO-AFCB24V2A / EO-AFS-XXX-HS
Accuracy	AFS 스펙 참고
Precision	<0.5 µm(정지상태)
Linearity(R²)	AFS 스펙 참고
Data rate	AFS 스펙 참고
Measuring range	AFS 스펙 참고
Sensing type	AFS 스펙 참고
Working distance	AFS 스펙 참고

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